古风君子以泽,欢乐颂第一季

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Nordson MARCH最新FlexTRAK -CDS等離子系統(tǒng)

詳情說(shuō)明

MARCH FlexTRAK-CD
FlexTRAK-CDS

適用于半導(dǎo)體封裝應(yīng)用的高產(chǎn)能等離子工藝的料條組件

預(yù)芯片貼裝、預(yù)引線鍵合、預(yù)成型封裝和預(yù)底部填充
等離子處理功能
圖形用戶界面(GUI)觸摸屏操作便捷
具有生產(chǎn)待料的料條處理系統(tǒng)
等離子腔體緊湊、清洗過(guò)程較短，具有專用的過(guò)程控
制系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)最大產(chǎn)能和最低成本
生產(chǎn)靈活性無(wú)法比擬，支持多種料條尺寸
僅需拉出前方掛架，即可維護(hù)服務(wù)組件

主要應(yīng)用

等離子去污和表面清洗

·氟和其他鹵素
·金屬和金屬氧化物
·有機(jī)化合物

蝕刻和表面粗化

·提高粘晶和打線的粘合力
·提高塑封膠粘合力，降低分層

表面活化

·提高粘晶膠流動(dòng)性，消除空洞，提高粘合力
·提高塑封材料流動(dòng)性，消除空洞，降低打線偏離率
·提高底部填充物流動(dòng)性，消除空洞，增強(qiáng)粘合力，提高芯吸速度

FlexTRAK-CD

FlexTRAK-CD系統(tǒng)擁有一個(gè)等離子腔，每個(gè)等離子周期內(nèi)可處理多達(dá)5根料條。均勻處理所有基底表面的同時(shí)，始終嚴(yán)格控制工藝參數(shù)以獲得可重復(fù)性效果。此外，系統(tǒng)還擁有一個(gè)獲得專利的等離子體模塊，可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的均勻性和跨周期的工藝可重復(fù)性。

FlexTRAK-CDS

FlexTRAK-CDS系統(tǒng)具有大容量等離子腔體，每個(gè)等離子周期內(nèi)可處理多達(dá)10根料條。均勻處理所有基底表面的同時(shí)，始終嚴(yán)格控制工藝參數(shù)以獲得可重復(fù)性效果

系統(tǒng)核心功能

FlexTRAK-CD系統(tǒng)擁有一個(gè)等離子腔，每個(gè)等離子周期內(nèi)可處理多達(dá)5根料條。均勻處理所有基底表面的同時(shí)，始終嚴(yán)格控制工藝參數(shù)以獲得可重復(fù)性效果。此外，系統(tǒng)還擁有一個(gè)獲得專利的等離子體模塊，可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的均勻性和跨周期的工藝可重復(fù)性。

MARCH FlexTRAK-CD和FlexTRAK-CDS規(guī)格表


項(xiàng) 目		內(nèi) 容
外殼尺寸	W(寬)xD(長(zhǎng))xH(高) - 占地面積	FlexTRAK-CD：1068寬x1166長(zhǎng)x1600高；高1966mm，帶燈塔（42寬x46長(zhǎng)x63高；包含燈塔高度為77英寸）
	W(寬)xD(長(zhǎng))xH(高) - 占地面積	FlexTRAK-CDS：1190寬x1320長(zhǎng)x1640高；包含燈塔高度為2114mm（47寬x52長(zhǎng)x65高；包含燈塔高度為83英寸
	凈重	FlexTRAK-CD：430公斤（948磅）
	凈重	FlexTRAK-CDS：550公斤（1213磅）
	設(shè)備間隙	右邊，左邊，后面 - 254毫米（10英寸），前面 - 940毫米（37英寸）
處理腔體	最大容量	FlexTRAK-CD：5.5升（338立方厘米）
處理腔體	最大容量	FlexTRAK-CDS：9.6升（585立方英寸）
電極	多種電極配置	電源-接地、接地-電源、電源-電源
	工作區(qū)	FlexTRAK-CD：305毫米（寬）x 305毫米（長(zhǎng)）（12英寸（寬） x 12英寸（長(zhǎng)））
	工作區(qū)	FlexTRAK-CDS：305mm寬x550mm長(zhǎng)（12英寸寬x21英寸長(zhǎng)）
射頻電源	標(biāo)配電源	600 瓦
射頻電源	流量計(jì)	13.56 兆赫
氣體控制	可用流量	50、100或250標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘
氣體控制	MFC最多可配置數(shù)	3
控制和接口	軟件控制	外部外設(shè)控制器（EPC），配有PC端觸摸屏界面
控制和接口	遠(yuǎn)程接口	SMEMA接口、SECS/GEM協(xié)議
真空泵	標(biāo)準(zhǔn)干泵	16立方英尺/分鐘
	選配濕泵	19.5立方英尺/分鐘
	選配凈化干泵	16立方英尺/分鐘
	干泵凈化氮?dú)庥昧?/th>	2升/分鐘
設(shè) 施	電源	220 伏交流電，15安培，50/60赫茲，1相，12 AWG3線
	工藝氣體管徑及接口	外徑6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管
	工藝氣體純度	實(shí)驗(yàn)室或電子等級(jí)
	工藝氣體壓力	最小0.69巴（10磅/平方英寸）至最大1.03巴（15磅/平方英寸），可調(diào)節(jié)
	凈化氣體管徑及接口	外徑6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管
	凈化氣體純度	實(shí)驗(yàn)室或電子等級(jí) N2/CDA
	凈化氣體壓力	最小2巴（30 磅/平方英寸）至最大6.9巴（100 磅/平方英寸），可調(diào)節(jié)
	氣動(dòng)閥接口及管徑	外徑6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管
	壓縮空氣純度	CDA、無(wú)油、露點(diǎn)溫度≤7°C（45°F）、粒徑＜5微米
	壓縮空氣壓力	最小3.45巴（50 磅/平方英寸）至最大6.89巴（100 磅/平方英寸），可調(diào)節(jié)
	排放	外徑25.4毫米（1英寸）管道法蘭
合規(guī)性	半導(dǎo)體	通過(guò)SMEI S2/S8（環(huán)境、健康和安全/人體工學(xué)）認(rèn)證
合規(guī)性	國(guó)際	通過(guò)CE認(rèn)證
輔助設(shè)備	氣體發(fā)生器	氮?dú)猓ㄐ枰渌豢蛇x硬件）